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1.拿镊子取硅片，硅片一面为镜面，一面为毛面，重点清洗镜面；
2.备好清洗架，家用洗洁精；
3.用镊子夹取硅片，先用通风橱处的自来水冲洗，以除去附着在表面的较大杂质；
4.戴好手套，将清洗后的硅片镜面朝上铺放在左手，滴一滴洗洁精，用右手食指轻搓镜面一侧，泡沫越多说明清洗为干净；——抛光片表面有颗粒和金属杂质，洗洁精除去表面油性杂质
5.用自来水冲洗掉泡沫，并放入清洗架；
6.在杯中盛入自来水，将放有硅片的清洗架置入杯中，在杯口戴上手套封口，放入超声清洗机
7.调节参数为60w，5min，开启清洗；
8.超声清洗后用去离子水冲洗，直到看不到泡沫为止；在杯中放入去离子水，封口，超声清洗，参数同上
9.将去离子水倒掉，用乙醇代替，步骤同上
10.将乙醇倒去，用丙酮代替，步骤同上
11.在通风橱配置食人鱼水，即浓硫酸和过氧化氢以7：3的比列进行配置，配制溶液时需要佩戴手套，穿戴实验服，于通风橱中操作。将过氧化氢（30%，AR）加入到浓硫酸中，体积比3:7，注意顺序不要加反 。使用时将玻片放入其中，摇晃10-30秒，取出先用去离子水冲洗，可以看到表面已经有很好的亲水性了，再用超纯水清洁，高纯氮气吹干，该步骤反复3~4次。最后放到干净表面皿中备用。——食人鱼溶液，又叫食人鱼刻蚀液，是浓硫酸和30%过氧化氢的混合物（7:3），主要用来清洁玻片表面的有机物。该混合物有很强的氧化性，可以彻底的清除基底上的几乎所有有机质，而且用它处理过的玻片表面会带羟基，因而高度亲水，可以用于后续修饰。
12.用去离子水冲洗残液
13.将去离子水倒去，用乙醇代替，步骤同上
14.将乙醇倒去，用丙酮代替，步骤同上——乙醇丙酮，根据相似相容原理，去除有机无机沾污
15.将清洗干净的硅片用用氮气枪吹干
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原文地址：https://www.cnblogs.com/Sonny-xby/p/11529870.html
