码迷,mamicode.com
首页 > 其他好文 > 详细

硅片清洗流程

时间:2019-09-16 21:12:48      阅读:322      评论:0      收藏:0      [点我收藏+]

标签:style   高度   顺序   family   注意   实验   mda   ash   16px   

1.拿镊子取硅片,硅片一面为镜面,一面为毛面,重点清洗镜面;

2.备好清洗架,家用洗洁精;

3.用镊子夹取硅片,先用通风橱处的自来水冲洗,以除去附着在表面的较大杂质;

4.戴好手套,将清洗后的硅片镜面朝上铺放在左手,滴一滴洗洁精,用右手食指轻搓镜面一侧,泡沫越多说明清洗为干净;——抛光片表面有颗粒和金属杂质洗洁精除去表面油性杂质

5.用自来水冲洗掉泡沫,并放入清洗架;

6.在杯中盛入自来水,将放有硅片的清洗架置入杯中,在杯口戴上手套封口,放入超声清洗机

7.调节参数为60w,5min,开启清洗;

8.超声清洗后用去离子水冲洗,直到看不到泡沫为止;在杯中放入去离子水,封口,超声清洗,参数同上

9.将去离子水倒掉,用乙醇代替,步骤同上

10.将乙醇倒去,用丙酮代替,步骤同上

11.在通风橱配置食人鱼水,即浓硫酸和过氧化氢以7:3的比列进行配置,配制溶液时需要佩戴手套,穿戴实验服,于通风橱中操作。将过氧化氢(30%,AR)加入到浓硫酸中,体积比3:7,注意顺序不要加反 。使用时将玻片放入其中,摇晃10-30秒,取出先用去离子水冲洗,可以看到表面已经有很好的亲水性了,再用超纯水清洁,高纯氮气吹干,该步骤反复3~4次。最后放到干净表面皿中备用。——食人鱼溶液,又叫食人鱼刻蚀液,是浓硫酸和30%过氧化氢的混合物(7:3),主要用来清洁玻片表面的有机物。该混合物有很强的氧化性,可以彻底的清除基底上的几乎所有有机质,而且用它处理过的玻片表面会带羟基,因而高度亲水,可以用于后续修饰。

12.用去离子水冲洗残液

13.将去离子水倒去,用乙醇代替,步骤同上

14.将乙醇倒去,用丙酮代替,步骤同上——乙醇丙酮,根据相似相容原理,去除有机无机沾污

15.将清洗干净的硅片用用氮气枪吹干







  

硅片清洗流程

标签:style   高度   顺序   family   注意   实验   mda   ash   16px   

原文地址:https://www.cnblogs.com/Sonny-xby/p/11529870.html

(0)
(0)
   
举报
评论 一句话评论(0
登录后才能评论!
© 2014 mamicode.com 版权所有  联系我们:gaon5@hotmail.com
迷上了代码!